3SiH4 + 4NH3
Si3N4 + 12H2
Реакция взаимодействия моносилана и аммиака с образованием нитрида кремния и водорода. Реакция протекает при температуре 500-900°C, в атмосфере азота.
Реакция взаимодействия моносилана и аммиака3SiH4 + 4NH3 |
![]() Химические элементы ![]() ![]() ![]() |