SiH4 + 2O2 SiO2 + 2H2O
Реакция взаимодействия моносилана и кислорода с образованием оксида кремния и воды. Реакция протекает при температуре около 150°C. Сгорание моносилана на воздухе.
Термохимическое уравнение:
Изменение энергии Гиббса:
- SiH4 + 2O2 = SiO2 + 2H2O, ΔG0298 = -1368,6 кДж/моль.
- SiH4(г.) + 2O2(г.) = SiO2(к.) + 2H2O(г.), ΔH0298 = -1357 кДж.