XeF6 + 3H2O → XeO3 + 6HF
Реакция взаимодействия фторида ксенона(VI) и воды с образованием оксида ксенона(VI) и фтороводорода. Наиболее эффективный контроль за реакцией достигается при использовании потока сухого азота, увлекающего за собой гексафторид ксенона в воду.