3O2 + 2F2 → 2O3F2
Реакция взаимодействия кислорода и фтора с образованием дифторида трикислорода (триоксодифторид, фторид озона). Через реакционную смесь при температуре от -196°C до -183°C и давлении 12 мм рт.ст. пропускают электрический разряд (2100-2400 В, 25-30 мА).